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Verbundprojekt:
Profilgebung und Funktionalisierung von Keramiken mittels Ultrakurzpulslaser

Teilthema:
Erforschung der Prozessauflösung laserstrukturierter Elemente in LTCC- und Dickschicht-Keramiken
 

Vorhabens-Nr. (Verbund):2015 VF 0021

Projekt-Nr.:2015 FE 9057
 

 

Beschreibung des Vorhabens:
Die Anforderungen an funktionelle Elemente in keramischen Schaltungsträgern und Gehäusen in Bezug auf Maßgenauigkeit und Positionsgenauigkeit nehmen ständig zu. Die Erforschung der Keramikbearbeitung mittels Ultrakurzpulslaser in Hinblick auf die erreichbare Prozessauflösung stellt einen wesentlichen Beitrag zur Verbesserung keramischer Integrationslösungen für moderne Mikrosysteme dar. Im Teilvorhaben wird insbesondere die Prozessauflösung für die Mikrostrukturierung verschiedener LTCC Keramiken untersucht, daneben aber auch für Al2O3 und AlN Materialien. Ziel ist es, mit Hilfe geeigneter Teststrukturen die Auflösung des Prozesses für geschnittene,
gebohrte und gravierte Strukturen zu bestimmen.

                                                                
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